Frankrijk – Micro-elektronische machines en toestellen – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

Voor zijn onderzoek, dat gericht is op het ontwikkelen van FDSOI 10nm technologieën en verder, wil het CEA-Leti een apparaat aankopen voor het metallisch vullen van vias bij lage temperatuur voor geheugenapplicaties, voor zijn reinruimte. Het apparaat zal in staat zijn om wafers van 300mm te gebruiken en is bedoeld voor de afzetting van een dunne laag wolfraam met hoge conformiteit in vias met een hoog aspectverhouding. De geplande aanbesteding omvat een optie met verplicht offerte en vier opties met optionele offerte: - Optie met verplicht offerte: . Optie 3 (optionele prestatie): Onderhoudsopleiding niveau 1 - Opties met optionele offerte: . Optie 1 (optionele levering): Warmtewisselaars / koelers . Optie 2 (optionele levering): Elektrische voedingstransformator . Optie 4 (optionele prestatie): Geavanceerde onderhoudsopleiding . Optie 5 (optionele prestatie): Garantieverlenging van één jaar