Frankrijk – Micro-elektronische machines en toestellen – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

Voor zijn onderzoekactiviteiten wil het CEA-LETI een apparaat, een semi-automatisch chemisch werkblad voor het etsen en reinigen van III-V materialen op siliciumplaten, indiumfosfide (InP) of galliumarsenide (GaAs) met diameter 100, 150, 200 en 300 mm voor de micro-elektronica. Dit werkblad vervangt een bestaand werkblad in de schone ruimte van het LETI. Daarom moet de voorgestelde apparatuur de volgende afmetingen hebben: o Lengte = 2500 mm o Diepte = 1700 mm o Hoogte = 2100 mm

De aanbesteding omvat ook de volgende opties met optionele prijsopgave* :

o Optie 1: Temperatuurwisselaars en koelers (§3.2.6) ;

o Optie 2: Voedingstransformatoren (§4.1.4) ;

o Optie 3: Opleiding eerste niveau onderhoud (§9) ;

o Optie 4: Geavanceerde onderhoudsopleiding (§9) ;

o Optie 5: Verlenging van de garantie met één extra jaar (§11.1) ;

o Optie 6: Beschikbaarstelling van een droge contact die het openen van het klepje van de H2SO4 of H2SO5 afvoer aanduide (§4.2.3) ;

o De prijs van de transport, inclusief verzekering, volgens de voorwaarden DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).