Duitsland – Diverse machines voor specifieke doeleinden – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Onderwerp van de aankoop is het upgrade van een bestaand 200 mm wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-systeem van de fabrikant Applied Materials Inc. (AMAT) naar een WxZ Sprint configuratie. Hiertoe zijn in het bijzonder aanpassingen aan het gasverdelingsysteem nodig om een gepulst wolfram-afscheidingsproces te realiseren, evenals de integratie van extra hardware om afscheidingsdrukken tot 300 Torr mogelijk te maken. De prestaties omvatten de planning, levering, integratie, inbedrijfsname en kwalificatie van de vereiste hardware- en softwareaanpassingen aan het bestaande installatiesysteem.