Zwitserland – Laboratoriuminstrumenten, optische en precisie-instrumenten (uitgezonderd brillen) – Un système de pulvérisation cathodique dédié à la déposition de couches minces supraconductrices de haute qualité

De EPFL heeft de aankoop van een hoogmoderne Sputter-depositieinstallatie gepland in nauwe samenwerking met de Universiteit van Genève (UNIGE). De installatie is speciaal ontworpen voor de productie van hoogwaardige supraleidende dunne laagjes. De installatie wordt geïnstalleerd en bedreven in het EPFL Center of MicroNanotechnology (EPFL CMi). Het CMi is een centralisatie- eenheid voor micro- en nanofabricatie, die alle faculteiten van de EPFL dient en zowel externe universiteiten als lokale bedrijfspartners openstaat (meer dan 600 actieve gebruikers per jaar). De nieuwe installatie wordt gebruikt voor toponderzoek in het gebied van enkel fotonendetectors, met als doel de kloof tussen laboratoriumproductie en industriële productie te overbruggen, door afzetting op wafers met een diameter van 200 mm mogelijk te maken. Er wordt niet alleen de kwaliteit van de afzettingen en de supraleidende eigenschappen van de dunne laagjes, maar ook de gebruiksvriendelijkheid van de installaties, hun eenvoudige en snelle inwerking voor nieuwe gebruikers en hun flexibele, maar toch robuste mogelijkheden tot procescontrole in een F&E-omgeving. Eveneens wordt grote waarde gehecht aan de nabijheid en reactievermogen van de leverancier ten aanzien van de volledige technische ondersteuning en procesondersteuning. In overeenstemming met de eisen van de EPFL en de wetenschappelijke doelen van het CMi en de UNIGE, wordt er speciaal aandacht besteed aan de volgende punten:

● Kwaliteit, reproducerbaarheid en uniformiteit van de supraleidende dunne laagjes.

● Integratie met onze infrastructuren.