Francja – Maszyny i aparatura mikroelektroniczna – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Dla swoich działań badawczych mających na celu rozwój technologii FD-SOI 10 nm i dalej, CEA-LETI chce nabyć urządzenie 300mm do polerowania mechaniczno-chemicznego. Urządzenie musi być w stanie polerować warstwy metalowe, takie jak miedź lub wolfram, oraz materiały barierowe, takie jak tantal czy tytan. Urządzenie musi również być w stanie polerować przezroczyste płyty. Musi być wyposażone w 4 talerze i 2 czyszczarki, aby móc przetwarzać 2 procesy równolegle. Musi być wyposażone w głowice polerujące i systemy końcowego punktu ostatniej generacji, umożliwiające automatyczną regulację profilu polerowania. Narzędzie musi następnie zintegrować moduł metrologii in-situ. Obecny kontrakt obejmuje następującą obowiązkową opcję: - Opcja nr 1: Prolongacja gwarancji o rok dodatkowy. Obecny kontrakt obejmuje następujące opcje fakultatywne: - Opcja nr 2: Dostawca czujnika resztków (§3.1 specyfikacji technicznej), - Opcja nr 3: Dostawca wymiennika ciepła/chłodziarka (§3.2.6 specyfikacji technicznej), - Opcja nr 4: Dostawca transformatora elektrycznego (§4.1.3 specyfikacji technicznej), - Opcja nr 5: Szkolenie obsługi 1. poziomu (§9 specyfikacji technicznej), - Opcja nr 6: Zaawansowane szkolenie obsługi (§9 specyfikacji technicznej), - Opcja nr 7: Cena transportu, z ubezpieczeniem, według warunków DAP CEA Grenoble (Konwencja Incoterms ICC 2020).