Francja – Maszyny i aparatura mikroelektroniczna – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

W ramach swoich działań badawczych mających na celu rozwój technologii SOI z całkowitym wyczerpaniem 10 nm i dalej, CEA-LETI chce nabyć urządzenie do automatycznego osadzania warstw atomowych (ALD). To urządzenie powinno głównie przetwarzać płytki o średnicy 300 mm (lub 200 mm z użyciem podpórek 200-300 mm). Jest przeznaczone do osadzania metali oraz metalonitryków dla pamięci nieulotnych i zaawansowanych kontaktów. To urządzenie powinno również zawierać rozwiązanie do czyszczenia, aby poprawić jakość powierzchni przed osadzaniem metali i metalonitryków. Zlecenie obejmuje również następującą obowiązkową opcję do wyceny*:

- Opcja 1 – Szkolenie w zakresie obsługi Niveau 1 (Rozdz. 9)

Zlecenie obejmuje również następujące opcje do fakultatywnego wyceny*:

- Opcja 2 – Wymienniki ciepła (Heat exchangers) i systemy chłodzenia (chillers) (Sekcja 3.2.6)

- Opcja 3 – Transformator elektryczny (Power supply transformer) (Sekcja 4.1.4)

- Opcja 4 – Zaawansowane szkolenie w zakresie obsługi (Rozdz. 9)

- Opcja 5 – Usługi konserwacji zapobiegawczej, naprawczej i niezbędne części zamienne (Sekcja 12.2)

- Opcja 6 – Rozszerzenie gwarancji o kolejny rok

Cena transportu, ubezpieczenie wliczone, według warunków DAP CEA Grenoble (Konwencja Incoterms ICC 2020)