Szwecja – Maszyny przemysłowe – Deep Reaction Ion Etcher (DRIE)

Myfab Uppsala zamierza zakupić głęboki reaktor jonowy do trawienia (DRIE). Celem urządzenia jest przenoszenie wzorów określanych np. przez litografię foto- i elektronową, obejmując zakres rozmiarów wzorów od całego zakresu podłoża do kilku nanometrów. System będzie używany przez wielu operatorów w środowisku uniwersyteckiego laboratorium. Musi być łatwy w użyciu i nieczuły na częste zmiany procesów między partiami. Procesy obejmują szeroki zakres możliwości trawienia: od niskiej do wysokiej szybkości trawienia, krojenie płyt, wysoką jednolitość, dużą otwartą powierzchnię, wysoki stosunek otwarcia i skalę nanometrową. System jest przeznaczony do trawienia krzemu oraz innych materiałów kompatybilnych z trawieniem krzemu, zarówno z fotorezystami, jak i twardymi maskami do wzorowania.