Szwecja – Maszyny przemysłowe – Deep Reaction Ion Etcher (DRIE)

Myfab Uppsala zamierza zakupić głęboki reaktor jonowy do trawienia (DRIE). Celem urządzenia jest przenoszenie wzorów zdefiniowanych np. przez fotolitografię i litografię wiązki elektronowej, obejmujące zakres rozmiarów wzorów od wszystkich podłoży do kilku nanometrów. System będzie wykorzystywany przez wielu operatorów w środowisku uniwersyteckiego laboratorium. Musi być łatwy w użyciu i odporny na częste zmiany procesu pomiędzy partiami. Procesy obejmują szeroki zakres możliwości trawienia: od niskiej do wysokiej szybkości trawienia, tarcie płytek, wysoką jednorodność, wysoki otwarty obszar, wysoki stosunek aspektu i skalę nanometrową. System jest przeznaczony do trawienia krzemu oraz innych materiałów kompatybilnych z trawieniem krzemu, zarówno z fotorezystami, jak i twardymi maskami do wzorowania.