Niemcy – Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyjątkiem szklanego) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ruhr-Universität Bochum zamierza nabyć instalację do głębokiego, anizotropowego trawienia (DRIE) do zastosowania w laboratorium badawczym Mikroelektroniki Bochum dla podłoża waferów o średnicy do 200 mm. Powinna być wykorzystywana w dziedzinie układów mikroelektromechanicznych (MEMS) opartych na krzemie do głębokiego anizotropowego trawienia krzemu na podstawie cyklicznego procesu trawienia (DRIE, "proces BOSCH") oraz służyć badaniom nowych koncepcji trawienia, które wykorzystują mniej szkodliwe dla klimatu gazy trawienne.