Francja – Maszyny i aparatura mikroelektroniczna – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

CEA-LETI chce nabyć urządzenie do swoich działań badawczych, półautomatyczny stół chemiczny do trawienia i czyszczenia materiałów III-V na płytkach krzemowych, fosforku indowego (InP) lub arszenku galu (GaAs) o średnicach 100, 150, 200 i 300 mm do mikroelektroniki. Ten stół zastąpi już istniejący stół w czystej sali LETI. Z tego powodu, urządzenie musi spełniać następujące wymagania wymiarowe: o Długość = 2500 mm o Głębokość = 1700 mm o Wysokość = 2100 mm Zlecenie obejmuje również następujące opcje z opcjonalnym wycenianiem* : o Opcja 1: Wymienniki temperatury i chłodnice (§3.2.6); o Opcja 2: Transformatory zasilania (§4.1.4); o Opcja 3: Szkolenie w zakresie obsługi pierwszego poziomu (§9); o Opcja 4: Zaawansowane szkolenie w zakresie obsługi (§9); o Opcja 5: Rozszerzenie gwarancji o dodatkowy rok (§11.1); o Opcja 6: Dostawca suchego kontaktu wskazującego otwarcie zaworu odprowadzającego H2SO4 lub H2SO5 (§4.2.3); o Cena transportu, ubezpieczenie włączone, zgodnie z warunkami DAP CEA Grenoble (Konwencja Incoterms ICC 2020).