Portugalia – Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyjątkiem szklanego) – STANDARD AND TECHNICAL SPECIFICATIONS TO GOVERN THE CONTRACT FOR THE SUPPLY AND INSTALLATION OF AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA REACTIVE ION ETCHING (ICP-RIE) SYSTEM

Przedmiotem umowy jest dostawa i montaż wyposażenia naukowego i komponentów do INL, wymienionych poniżej i szczegółowo opisanych w Załączniku V do niniejszych Specyfikacji Standardowych (w dalszej części nazywanych 'Specyfikacje'). Wyposażenie wymienione w Załączniku V stanowią partie, z których składa się ofertę. Oferenci mogą składać oferty na jedną lub więcej partii. Przedmiotem umowy w każdym przypadku nie są tak zwane odnowione instrumenty i wyposażenie naukowe. Jedna część, z której składa się ofertę, jest następująca: Dostawa, montaż, uruchomienie, testy akceptacyjne i szkolenie dotyczące wysokowydajnego systemu ICP-RIE (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching) przeznaczonego do mikro- i nanofabrykacji.