Niemcy – Różne maszyny specjalnego zastosowania – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Przedmiotem zamówienia jest modernizacja istniejącego systemu 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD) firmy Applied Materials Inc. (AMAT) do konfiguracji WxZ Sprint. W tym celu wymagane są szczególnie dostosowania systemu rozdzielania gazów do realizacji procesu pulsującego osadzania wolframu oraz integracja dodatkowego sprzętu umożliwiającego osiągnięcie ciśnienia osadzania do 300 Torr. Usługi obejmują planowanie, dostawę, integrację, uruchomienie i kwalifikację wymaganych dostosowań sprzętu i oprogramowania na istniejącym systemie instalacyjnym.