França – Máquinas e aparelhos microelectrónicos – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Para as suas atividades de investigação visando o desenvolvimento das tecnologias FD-SOI 10 nm e além, o CEA-LETI pretende adquirir um equipamento de polimento mecânico-químico de 300 mm. O equipamento deverá ser capaz de polir filmes metálicos, como cobre ou tungsténio, bem como materiais de barreira, como tântalo ou titânio. O equipamento também deverá ser capaz de polir placas transparentes. Deverá estar equipado com 4 pratos e 2 limpeza para poder tratar 2 processos em paralelo. Deverá estar equipado com cabeças de polimento e sistemas de fim de curso de última geração, permitindo o ajuste automático do perfil de polimento. A ferramenta deverá, posteriormente, integrar um módulo de metrologia in-situ. O presente contrato inclui a seguinte opção obrigatória: - Opção n°1: Prolongamento da garantia por um ano adicional. O presente contrato inclui as seguintes opções facultativas: - Opção n°2: Fornecimento de um sensor de resíduos (artigo 3.1 do caderno de encargos), - Opção n°3: Fornecimento de um trocador de calor/refrigerador (artigo 3.2.6 do caderno de encargos), - Opção n°4: Fornecimento de um transformador elétrico (artigo 4.1.3 do caderno de encargos), - Opção n°5: Formação de manutenção de 1º nível (artigo 9 do caderno de encargos), - Opção n°6: Formação de manutenção avançada (artigo 9 do caderno de encargos), - Opção n°7: O preço do transporte, seguro incluído, de acordo com as condições DAP CEA Grenoble (Convenção Incoterms ICC 2020).