Alemanha – Maquinaria diversa genérica ou de finalidade específica – Inline automatic optical inspection (AOI) with high-speed Analysis for QMI systems

Prober modular, totalmente automatizado, para inspeção óptica e contato elétrico de dispositivos eletrônicos, fotônicos e micro-mecânicos — incluindo abordagens de fabricação avançada, como integração quasi-monolítica. O sistema manipula wafers de 200 mm, bem como molduras, fitas, bandejas e substratos comparáveis. Um sistema de manipulação de portadores de ponta a ponta carrega portadores com substratos montados de caixas especializadas, posiciona-os no prensador a vácuo do prober e realiza o alinhamento totalmente automatizado. Uma interface cartão de teste/cartão de sondagem é fornecida para conexão elétrica. A detecção de sondagem e o posicionamento fino são realizados automaticamente para garantir condições de contato reprodutíveis. O software de controle suporta controle de sequência programável e alinhamento baseado em ponto de referência. Para inspeção óptica, o sistema oferece uma interface mecânica móvel para aceitar módulos de inspeção óptica modulares, fornecidos pelo cliente (por exemplo, microscópio com câmera) com ajuste lateral e vertical. O espaço acima do