França – Material electrónico, electromecânico e electrotécnico – Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD

Para as suas atividades de pesquisa visando o desenvolvimento das tecnologias FD-SOI 10 nm e além, o CEA-LETI pretende adquirir um equipamento de 300 mm para deposição metálica por PVD. O equipamento será multi-câmaras e deverá incluir pelo menos 5 câmaras de deposição, uma plataforma de transferência sob vácuo, uma câmara de oxidação dedicada, uma câmara de pré-limpeza e um módulo de degasificação. O portão de carregamento deverá permitir acolher pelo menos 3 FOUPs. O mercado previsto compreende as seguintes opções:

- Opção obrigatória: OPT1: Extensão de garantia 1 ano adicional (§11.1 do caderno de encargos)

- Opções facultativas: OPT2: Trocadores de calor/Refrigeradores (§3.2.6 do caderno de encargos)

OPT3: Transformador de alimentação elétrica (§4.1.4 do caderno de encargos)

OPT4: Formação de manutenção de 1º nível (§9 do caderno de encargos)

OPT5: Formação de manutenção de nível avançado (§9 do caderno de encargos)