Alemanha – Equipamento laboratorial, óptico e de precisão (exc. óculos) – EUV-Targets

Com a fonte de EUV a adquirir, incluindo a instrumentação para a caracterização da emissão, devem ser investigados aspectos científicos. Isso inclui, sobretudo, estudos das dependências das emissões dos parâmetros da potência do laser irradiado. Além disso, deve ser investigada esta configuração como alternativa às fontes de EUV coerentes já desenvolvidas no HI Jena em termos da sua aplicação para procedimentos de imagem.