França – Máquinas e aparelhos microelectrónicos – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

No âmbito das suas atividades de investigação visando desenvolver tecnologias SOI de 10 nm de empobrecimento total e além, o CEA-LETI pretende adquirir um equipamento de deposição por camada atómica (ALD) totalmente automático. Este equipamento deverá tratar principalmente placas de 300 mm (ou de 200 mm com a ajuda de suportes 200-300 mm). Destina-se ao depósito de metais, bem como de nitretos metálicos, para memórias não voláteis e contactos avançados. Este equipamento deverá também incluir uma solução de limpeza para melhorar a qualidade da superfície antes do depósito de metais e de nitretos metálicos. O contrato inclui também a seguinte opção de cotação obrigatória*:

- Opção 1 – Formação de manutenção Nível 1 (Capítulo 9)

O contrato inclui também as seguintes opções de cotação facultativa*:

- Opção 2 – Trocadores de calor (Heat exchangers) e sistemas de refrigeração (chillers) (Secção 3.2.6)

- Opção 3 – Transformador eléctrico (Power supply transformer) (Secção 4.1.4)

- Opção 4 – Formação de manutenção avançada (Capítulo 9)

- Opção 5 – Serviços de manutenção preventiva, correctiva e peças sobressalentes necessárias (Secção 12.2)

- Opção 6 – Extensão de garantia de um ano adicional

O preço do transporte, incluindo seguro, de acordo com as condições DAP CEA Grenoble (Convenção Incoterms ICC 2020)