Bélgica – Equipamento laboratorial, óptico e de precisão (exc. óculos) – 2 PVD systemen en materiaal

Lote 1 Explicação

A entidade adjudicante pretende adquirir um sistema de deposição de filmes finos de alta qualidade para pesquisa de materiais avançados no âmbito do projeto financiado pela ERC THERMAGINE. O sistema será utilizado para a deposição e engenharia de filmes finos magnéticos metálicos e de óxidos e pilhas de multicamadas com controle de espessura na escala nanométrica. O equipamento será utilizado principalmente para a fabricação de filmes finos magnéticos (multicamada) e cunha para pesquisa nanomagnética. O sistema deve, portanto, fornecer um alto grau de flexibilidade, reprodutibilidade, estabilidade do processo e automação. Para detalhes técnicos, consulte a parte III

Lote 2 Explicação

Para facilitar a pesquisa exploratória no cleanroom da UGent, é necessário um novo sistema de deposição física de vapor (PVD) que possa manipular substratos de pelo menos 100 mm de tamanho. O sistema PVD será compartilhado entre o grupo de pesquisa de fotônica (PRG) e os grupos de pesquisa de cristais líquidos e fotônica (LCP) para depositar uma ampla gama de filmes finos (na maioria) metálicos ou dielétricos. Incluído na atribuição está a partida e instalação da ferramenta, bem como um load-lock para carregamento mais rápido das amostras e treinamento pelo fornecedor do equipamento.

Um sistema de deposição de filmes finos PVD de 100 mm, com fontes de evaporação e-gun e sputtering e um load-lock.

Lote 3 Explicação

Consumíveis do primeiro ano para o Lote 2. O Lote 3 refere-se à compra única dos consumíveis especificamente necessários para o sistema PVD descrito no Lote 2 e para uso no cleanroom da UGent durante o primeiro ano de operação. O inventário deve incluir pelo menos ouro para alvos de sputtering, titânio para alvos de sputtering, ouro para evaporação e-gun e titânio para evaporação e-gun. Outros consumíveis utilizados em menores quantidades, como alumínio, níquel, platina, óxido de alumínio, cromo e materiais semelhantes, podem ser oferecidos como itens adicionais opcionais, mas não são obrigatórios.