França – Máquinas e aparelhos microelectrónicos – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

Para as suas atividades de investigação, que visam desenvolver as tecnologias FDSOI 10nm e além, o CEA-Leti pretende adquirir um equipamento dedicado ao preenchimento metálico de vias a baixa temperatura, para aplicações de memória, para a sua sala branca. O equipamento será capaz de utilizar wafers de 300mm e está previsto para a deposição de filme fino de tungsténio com alta conformidade em vias com um fator de forma elevado. O mercado em causa inclui uma opção com orçamento obrigatório e quatro opções com orçamento facultativo:

- Opção com orçamento obrigatório:

- Opção 3 (prestação opcional): Formação em manutenção nível 1

- Opções com orçamento facultativo:

- Opção 1 (fornecimento opcional): Trocadores de calor/refrigeradores

- Opção 2 (fornecimento opcional): Transformador de alimentação elétrica

- Opção 4 (prestação opcional): Formação em manutenção avançada

- Opção 5 (prestação opcional): Extensão de garantia de um ano