França – Material electrónico, electromecânico e electrotécnico – Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm

Para as suas atividades de pesquisa visando o desenvolvimento das tecnologias FD-SOI 10 nm e além, o CEA-LETI pretende adquirir um equipamento de medição de camadas finas compatível com wafers de 200 mm e 300 mm, utilizável em sala limpa classe 100. O equipamento deverá integrar funções de elipsometria e de reflectometria espectroscópicas. Deverá assegurar medições precisas e reprodutíveis das espessuras e propriedades ópticas de camadas simples ou empilhadas. As tecnologias alvo incluem, nomeadamente, SOI, materiais high-k, GaN, SiC e III-V, por exemplo. O mercado em causa compreende: - um lote firme correspondente ao equipamento de base, - um lote opcional n.º 1 relativo ao fornecimento de OCD e do ambiente informático (Módulo OCD). O presente mercado inclui as opções de cotação facultativa seguintes: o OPT1: Formação em Manutenção de 1.º nível o OPT2: Formação em Manutenção avançada o OPT3: Fornecimento de um transformador elétrico o OPT4: Fornecimento de um trocador de calor/refrigeradores o OPT5: Extensão de garantia de um ano adicional o OPT6: O preço do transporte, seguro incluído, de acordo com as condições DAP CEA Grenoble (Convenção Incoterms ICC 2020).