Alemanha – Máquinas diversas para usos específicos – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

O objeto da aquisição é a atualização de um sistema existente de Deposição de Vapor Químico (CVD) de Tungstênio de 200 mm da fabricante Applied Materials Inc. (AMAT) para uma configuração WxZ Sprint. Para isso, são necessárias, em particular, adaptações no sistema de distribuição de gases para a realização de um processo de deposição pulsada de tungstênio, bem como a integração de hardware adicional para permitir pressões de deposição até 300 Torr. Os serviços incluem a planeamento, fornecimento, integração, colocação em funcionamento e qualificação das adaptações de hardware e software necessárias no sistema de instalação existente.