Spania – Maşini şi aparate microelectronice şi microsisteme – Suministro de sistema de grabado mediante haz iónico (Ion beam Etching - IBE)

Echipa va fi destinată pentru Infraestructura Științifică și Tehnică Unică (ICTS) MICRONANOFABS, rețea spaniolă de săli albe de micro și nanofabricare integrată în Harta Națională de ICTS a Ministerului competent în domeniul științei, din care face parte Infraestructura de Micro și Nano Fabricare a Centrului de Tehnologie Nanofotonică (NTC) al Universitat Politècnica de València (UPV), împreună cu Centrul Național de Microelectronică (CSIC) și Centrala de Tehnologie a ISOM (UPM). Instalația se va afla în Sala Albă a clădirii 8F a NTC-UPV. Centrul de Tehnologie Nanofotonică dezvoltă procese de fabricare a dispozitivelor fotonice integrate, biosenzori, componente de optică integrată, dispozitive cuantice, sisteme microelectromecanice (MEMS), structuri microfluide și sisteme nanofotonice pe o gamă largă de materiale, inclusiv siliciu, nitrură de siliciu, sticlă, cuarț, materiale III-V, materiale dielectrice și structuri hibride. Ca ICTS integrată în rețeaua MICRONANOFABS, NTC-UPV oferă servicii de micro și nanofabricare grupurilor de cercetare naționale și internaționale, precum și întreprinderilor, în cadrul proiectelor competitive, contractelor de transfer de tehnologie și prestării de servicii avansate. Această condiție de infrastructură singulară de uz comun impune menținerea unui dotare instrumental actualizat, robust și de performanțe conform statului artei, care să permită răspunsul atât la linii de cercetare proprii, cât și la cererea externă a comunității științifice și industriale, în linie cu obiectivele PERTE Chip pentru întărirea capacităților naționale de microelectronică și fotonică. Multe dintre dispozitivele fabricate în infrastructură necesită procese de gravare fizică de înaltă precizie pe materiale pentru care procesele convenționale de gravare chimică (umede) nu oferă calitatea superficială, anizotropia sau selectivitatea necesare. De asemenea, creșterea complexității dispozitivelor dezvoltate necesită disponibilitatea de procese foarte reproducibile, cu control precis al unghiului de incidență al fascicului, o stabilitate ridicată a procesului, automatizare și monitorizare continuă.