Franţa – Maşini şi aparate microelectronice – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Pentru activitățile sale de cercetare în domeniul dezvoltării tehnologiilor FD-SOI 10 nm și mai departe, CEA-LETI dorește să achiziționeze un echipament de polizare mecano-chimică de 300mm. Echipamentul trebuie să poată poliza filme metalice precum cuprul sau wolframul, precum și materiale bariera precum tantalul sau titanul. Echipamentul trebuie, de asemenea, să fie capabil să polizeze plăci transparente. Acesta trebuie să fie echipat cu 4 platouri și 2 cleanere pentru a putea trata 2 procese în paralel. Acesta trebuie să fie echipat cu capete de polizare și sisteme de endpoint de ultimă generație, care permit ajustarea automatizată a profilului de polizare. Instrumentul trebuie ulterior să integreze un modul de metrologie in situ. Contractul actual include următoarea opțiune obligatorie: - Opțiunea nr. 1: Prelungirea garantiei cu un an suplimentar. Contractul actual include următoarele opțiuni facultative: - Opțiunea nr. 2: Furnizarea unui senzor de reziduuri (§3.1 din Cadrul de specificații), - Opțiunea nr. 3: Furnizarea unui schimbător de căldură/refrigerator (§3.2.6 din Cadrul de specificații), - Opțiunea nr. 4: Furnizarea unui transformator electric (§4.1.3 din Cadrul de specificații), - Opțiunea nr. 5: Formarea de întreținere de nivel 1 (§9 din Cadrul de specificații), - Opțiunea nr. 6: Formarea de întreținere avansată (§9 din Cadrul de specificații), - Opțiunea nr. 7: Prețul transportului, asigurarea inclusă, conform condițiilor DAP CEA Grenoble (Convenția Incoterms ICC 2020).