Franţa – Accesorii electronice, electromecanice şi electrotehnice – Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD

Pentru activitățile sale de cercetare îndreptate către dezvoltarea tehnologiilor FD-SOI 10 nm și mai departe, CEA-LETI dorește să achiziționeze un echipament de 300 mm pentru depunerea metalică prin PVD. Echipamentul va fi multi-cameră și va trebui să includă cel puțin 5 camere de depunere, o platformă de transfer sub vid, o cameră de oxidare dedicată, o cameră de pre-curățare și un modul de degazare. Portul de încărcare va trebui să permită primirea a cel puțin 3 FOUPs. Contractul prevăzut include următoarele opțiuni:

- Opțiune obligatorie: OPT1: Extinderea garantiei cu 1 an suplimentar (§11.1 din Cadrul de referință)

- Opțiuni facultative: OPT2: Schimbătoare de căldură / Raciri (§3.2.6 din Cadrul de referință) OPT3: Transformator de alimentare electrică (§4.1.4 din Cadrul de referință) OPT4: Formare de întreținere de nivel 1 (§9 din Cadrul de referință) OPT5: Formare de întreținere de nivel avansat (§9 din Cadrul de referință)