Franţa – Maşini şi aparate microelectronice – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

În cadrul activităților sale de cercetare pentru dezvoltarea tehnologiilor SOI cu depunere completă de 10 nm și mai mult, CEA-LETI dorește să achiziționeze un echipament de depunere prin strat atomic (ALD) complet automat. Acest echipament va trebui să trateze în principal plăci de 300 mm (sau de 200 mm cu ajutorul suporturilor 200-300 mm). Este destinat depunerii de metale, precum și a nitrurilor metalice pentru memoriile nevolatilă și contactele avansate. Acest echipament va trebui, de asemenea, să includă o soluție de curățare pentru a îmbunătăți calitatea suprafeței înainte de depunerea metalelor și a nitrurilor metalice. Contractul cuprinde, de asemenea, următoarea opțiune cu preț obligatoriu* : - Opțiunea 1 – Formare de întreținere Nivel 1 (Capitolul 9) Contractul cuprinde, de asemenea, următoarele opțiuni cu preț facultativ* : - Opțiunea 2 – Schimbătoare de căldură (Heat exchangers) și sisteme de răcire (chillers) (Secțiunea 3.2.6) - Opțiunea 3 – Transformator electric (Power supply transformer) (Secțiunea 4.1.4) - Opțiunea 4 – Formare de întreținere Avansată (Capitolul 9) - Opțiunea 5 – Servicii de întreținere preventivă, corectivă și piese de schimb necesare (Secțiunea 12.2) - Opțiunea 6 – Extinderea garantiei cu un an suplementar - Prețul transportului, inclusiv asigurarea, conform condițiilor DAP CEA Grenoble (Convenția Incoterms ICC 2020)