Spania – Circuite integrate şi microasamblări electronice – Suministro, instalación y puesta en funcionamiento de un equipo Electron Beam Lithography tool up to 8-inch wafers (UPV04) y un equipo SEM (UPV13) para la Pilot Line de la UPV

Contractarea obiectul acestui dosar este necesară pentru a efectua activitatea de cercetare și dezvoltare pentru Pilot Line de la UPV, cu scopul de a îmbunătăți liniile pilote avansate existente și de a dezvolta noi în întreaga Uniune, pentru a permite dezvoltarea și implementarea tehnologiilor de semiconductori de vârf și tehnologiilor de semiconductori de următoarea generație. În acest scop, este necesară achiziționarea, printre altele, a următoarelor echipamente:

4 • UPV04 - Electron beam lithography tool up to 8-inch wafers: Echipament de litografie cu fascicul de electroni care expune modele în rezistențe sensibilizate prin intermediul unui fascicul de electroni focalizat și scănat. Scrie caracteristici cu rezoluție nanometrică conform designului din fișier digital. Dedicat nanofabricării, în special pentru măști și structuri în fotonică, semiconductori și nanotecnologie.

• UPV13 – SEM: Echipament de inspectare a suprafețelor prin intermediul unui fascicul de electroni focalizat care furnizează imagini cu rezoluție nanometrică. Permite obținerea informațiilor morfologice și de contrast superficial, precum și contrast asociat diferențelor de compoziție sau număr atomic, în funcție de detectoarele și modurile de imagine disponibile. Dedicat metrologiei, inspectării și validării procesului și controlului calității.

Idoneitatea echipamentului se bazează pe capacitatea sa de a acoperi conjoint requisitele de modelare și metrologie dedicate necesare pentru fabricarea în linia pilot de circuite fotonice integrate hibride. Această capacitate permite coordonarea definiției parametrilor de expunere și a punctelor de interes pentru metrologia ulterioară, integrarea inspectării externe SEM post-proces și asigurarea trabilității și coerentei datelor generate în timpul fluxului de fabricare.