Finlanda – Echipamente de laborator, optice şi de precizie (cu excepţia ochelarilor) – Edge-Handling Sputtering Cluster Tool

Obiectul procedurii de licitație este un echipament de cluster de pulverizare cu manopere de margine (mai târziu și „Echipament”). Echipamentul este un echipament de cluster de pulverizare pentru tablete de 200 mm cu capacitate de manipulare a marginii tabletei pentru front-endul de semiconductoare al camerei curate VTT Micronova. Achiziția include o cameră de depozitare cu patru surse de pulverizare magnetron. În timpul transportului și procesării, tabletele sunt atinse mecanic doar la marginea tabletei și pot fi răsturnate în vid între procesele.

Obiectul procedurii de licitație și cerințele tehnice sunt descrise mai detaliat în documentele de invitație la licitație.