Spania – Maşini şi aparate microelectronice şi microsisteme – Suministro de sistema de grabado mediante haz iónico (Ion beam Etching - IBE)

Echipa se va destina la Infraestructura Științifică și Tehnică Singulară (ICTS) MICRONANOFABS, rețea spaniolă de săli albastre de micro și nanofabricare integrată în Harta Națională de ICTS a Ministerului competent în materie de știință, din care fac parte Infraestructura de Micro și Nano Fabricare a Centrului de Tehnologie Nanofotonică (NTC) al Universității Politehnice din Valencia (UPV), împreună cu Centrul Național de Microelectronică (CSIC) și Centrul de Tehnologie al ISOM (UPM). Instalația se va afla în Sala Albă a clădirii 8F a NTC-UPV. Centrul de Tehnologie Nanofotonică dezvoltă procese de fabricare a dispozitivelor fotonice integrate, biosenzori, componente de optică integrată, dispozitive cuantice, sisteme microelectromecanice (MEMS), structuri microfluide și sisteme nanofotonice pe o gamă largă de materiale, inclusiv siliciu, nitrură de siliciu, sticlă, cuarț, materiale III-V, materiale dielectrice și structuri hibride. Ca ICTS integrată în rețeaua MICRONANOFABS, NTC-UPV oferește servicii de micro și nanofabricare grupurilor de cercetare naționale și internaționale, precum și întreprinderilor, în cadrul proiectelor competitive, contractelor de transfer de tehnologie și prestarea de servicii avansate. Această condiție de infrastructură singulară de uz comun obligă la menținerea unui dot instrumental actualizat, robust și cu performanțe în conformitate cu starea de fapt, care să permită răspunsul atât liniei de cercetare proprii, cât și cererii externe din partea comunității științifice și industriale, în conformitate cu obiectivele PERTE Chip pentru întărirea capacităților naționale de microelectronică și fotonică. Multe dintre dispozitivele fabricate în infrastructură necesită procese de gravură fizică de înaltă precizie pe materiale pentru care procesele convenționale de gravură chimică (umedă) nu oferă calitatea suprafaței, anizotropia sau selectivitatea necesare. De asemenea, creșterea complexității dispozitivelor dezvoltate necesită disponibilitatea de procese foarte reproducibile, cu control precis al unghiului de incidență al fasciculului, stabilitate ridicată a procesului, automatizare și monitorizare continuă.