Franţa – Maşini şi aparate microelectronice – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

Pentru activitățile sale de cercetare, care vizează dezvoltarea tehnologiilor FDSOI 10nm și mai departe, CEA-Leti dorește să achiziționeze un echipament dedicat umplerii metalice a viilor la temperatură joasă, pentru aplicații de memorie, pentru sala sa albă. Echipamentul va fi capabil să utilizeze wafere de 300mm și este prevăzut pentru depunerea filmului subțire de wolfram cu o conformitate înaltă în vii cu un factor de formă ridicat. Contractul prevăzut include o opțiune cu chiffrage obligatoriu și patru opțiuni cu chiffrage facultativ: - Opțiune cu chiffrage obligatoriu: Opțiunea 3 (prestație opțională): Formare la întreținere nivel 1 - Opțiuni cu chiffrage facultativ: Opțiunea 1 (furnizare opțională): Schimbătoare de căldură/racoolitoare Opțiunea 2 (furnizare opțională): Transformator de alimentare electrică Opțiunea 4 (prestație opțională): Formare la întreținere avansată Opțiunea 5 (prestație opțională): Extindere de garantie de un an