Franţa – Accesorii electronice, electromecanice şi electrotehnice – Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm

Pentru activitățile sale de cercetare îndreptate către dezvoltarea tehnologiilor FD-SOI 10 nm și mai departe, CEA-LETI dorește să achiziționeze un instrument de măsurare a stratelor subțiri compatibil cu wafer-uri de 200 mm și 300 mm, utilizabil în săli curate de clasă 100. Echipamentul trebuie să integreze funcții de elipsometrie și reflectometrie spectroscopice. Acesta trebuie să asigure măsurători precise și reproducibile ale grosimii și proprietăților optice ale stratelor simple sau în strat. Tehnologiile vizate includ, printre altele, SOI, materiale high-k, GaN, SiC și III-V. Piatră de încercare prevăzută include: - o tranșă fermă corespunzătoare echipamentului de bază, - o tranșă opțională nr. 1 privind furnizarea de OCD și mediu informatic (Modul OCD). Acest contract prevede următoarele opțiuni de preț opțional: OPT1: Formare în întreținere de nivel 1 OPT2: Formare în întreținere avansată OPT3: Furnizarea unui transformator electric OPT4: Furnizarea unui schimbător de căldură/ racoritoare OPT5: Extinderea garantiei cu o durată de un an suplimentar OPT6: Prețul transportului, cu asigurare inclusă, conform condițiilor DAP CEA Grenoble (Convenție Incoterms ICC 2020).