Franţa – Maşini şi aparate microelectronice – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

Pentru activitățile sale de cercetare, CEA-LETI dorește să achiziționeze un echipament, un post de chimie semiautomat pentru gravarea și curățarea materialelor III-V pe plăci de siliciu, fosfur de indiu (InP) sau arsenură de galiu (GaAs) de diametre 100, 150, 200 și 300 mm pentru microelectronică. Acest post înlocuiește un post deja existent în sala albă a LETI. Prin urmare, echipamentul propus trebuie să respecte următoarele dimensiuni: o Lungime = 2500 mm o Adâncime = 1700 mm o Înălțime = 2100 mm Contractul include, de asemenea, următoarele opțiuni de prețuire facultativă*: o Opțiunea 1: Schimbătoare de temperatură și răcitori (§3.2.6); o Opțiunea 2: Transformatoare de alimentare (§4.1.4); o Opțiunea 3: Formare întreținere nivel 1 (§9); o Opțiunea 4: Formare întreținere avansată (§9); o Opțiunea 5: Extinderea garantiei cu un an suplimentar (§11.1); o Opțiunea 6: Punerea la dispoziție a unui contact sec indicând deschiderea vanei de drenaj H2SO4 sau H2SO5 (§4.2.3); o Prețul transportului, asigurat, conform condițiilor DAP CEA Grenoble (Convenția Incoterms ICC 2020).