Germania – Diverse utilaje cu utilizare specială – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Obiectul achiziției este modernizarea unui sistem existent de depozitare chimică din fază gazoasă (CVD) de 200 mm Wolfram, produs de Applied Materials Inc. (AMAT), la o configurație WxZ Sprint. În acest sens, sunt necesare, în special, adaptări la sistemul de distribuție a gazelor pentru realizarea unui proces de depozitare pulsat de Wolfram, precum și integrarea unui hardware suplimentar pentru a permite presiuni de depozitare până la 300 Torr. Prestările includ planificarea, livrarea, integrarea, punerea în funcțiune și calificarea adaptărilor necesare de hardware și software la sistemul de instalație existent.