Francúzsko – Mikroelektronické stroje a prístroje – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Pre svoje výskumné aktivity s cieľom rozvoja technológií FD-SOI 10 nm a nad, chce CEA-LETI získať zariadenie 300mm na mechanicko-chemické brúsenie. Zariadenie musí byť schopné brúsiť kovové vrstvy, ako je med, alebo wolfram, ako aj bariérové materiály, ako je tantal, alebo titán. Zariadenie musí byť tiež schopné brúsiť priehľadné platne. Musí byť vybavené 4 platňami a 2 čističkami, aby mohlo spracovať 2 postupy paralelne. Musí byť vybavené hlavami na brúsenie a systémami na koncové body poslednej generácie, ktoré umožňujú automatické nastavenie profilu brúsenia. Nástroj musí následne integrovať modul in-situ metrológie. Tento kontrakt obsahuje nasledovnú povinnú opciu: - Opcia č. 1: Predĺženie záruky o jeden ďalší rok. Tento kontrakt obsahuje nasledovné fakultatívne opcie: - Opcia č. 2: Dodávka senzora zvyškov (§3.1 technického zadaní), - Opcia č. 3: Dodávka výmenníka tepla/chladič (§3.2.6 technického zadaní), - Opcia č. 4: Dodávka elektrického transformátora (§4.1.3 technického zadaní), - Opcia č. 5: Prvý úroveň údržbových výcvikov (§9 technického zadaní), - Opcia č. 6: Pokročilé údržbové výcviky (§9 technického zadaní), - Opcia č. 7: Cena dopravy, vrátane poistenia, podľa podmienok DAP CEA Grenoble (Dohoda Incoterms ICC 2020).