Nemecko – Rôzne strojové zariadenia na všeobecné a osobitné účely – Inline automatic optical inspection (AOI) with high-speed Analysis for QMI systems

Modulárny, plne automatizovaný sondovací systém pre optický prehľad a elektrický kontakt elektronických, fotonických a mikro-mechanických zariadení, vrátane pokročilých výrobných postupov, ako je kvazi-monolitická integrácia. Systém spracúva 200 mm platne, ako aj rámce, pásy, podnosy a podobné substráty. Konečný systém pre manipuláciu s nosičmi načíta nosiče s namontovanými substrátmi z špeciálnych kaset, umiestňuje ich na vakuový chuck sondovacieho systému a vykonáva plne automatické zarovnanie. Pre elektrické pripojenie je poskytnutý rozhranie testkarta/sondujúca karta. Detekcia sondy a jemné umiestnenie sa vykonávajú automaticky, aby sa zaručili reprodukovateľné podmienky kontaktu. Ovládacia softvér podporuje programovateľnú sekvenčnú kontrolu a zarovnanie na základe referenčných bodov. Pre optický prehľad systém ponúka pohyblivé mechanické rozhranie, ktoré prijíma modulárne, zákazníkom dodané optické moduly pre prehľad (napr. mikroskop s kamerou) s laterálnym a vertikálnym nastavením. Voľný priestor nad p