Preskočiť na obsah
Späť na vyhľadávanie

Francúzsko – Elektronické, elektromechanické a elektrotechnické potreby – Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD

CEA/GRENOBLEFrancúzskoZverejnené dňa 13. 4. 2026
Nebol zadaný dátum splatnosti

Popis

Pre svoj výskum smerujúci k rozvoju technológií FD-SOI 10 nm a nad 10 nm chce CEA-LETI získať zariadenie 300 mm pre metalické nanášanie PVD. Zariadenie bude viackomorové a musí obsahovať aspoň 5 nanášacích komôr, platformu pre preklad pod vakuom, komoru pre oxidáciu, komoru pre predčistenie a modul pre vyparovanie. Načačovacie zariadenie musí umožniť umiestniť aspoň 3 FOUPy. Plánované zmluvy obsahujú nasledujúce možnosti:

- Povinná možnosť: OPT1: Predlženie záruky o 1 rok (§11.1 technických predpisov)

- Voliteľné možnosti: OPT2: Výmenníky tepla/Chladiče (§3.2.6 technických predpisov)

OPT3: Transformátor elektrického napájania (§4.1.4 technických predpisov)

OPT4: Výcvik pre údržbu 1. úrovne (§9 technických predpisov)

OPT5: Výcvik pre údržbu pokročilého úrovne (§9 technických predpisov)

Kódy CPV

Electronic, electromechanical and electrotechnical suppliesMicroelectronic machinery and apparatus

Dokumenty a odovzdanie

Dokumenty o zakúpeníOdovzdať ponuku
AI zhrnutie
Prihlásiť sa pre AI zhrnutie
Zobraziť pôvodné oznámenieAko PDF

Contains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.

Súvisiace zákazky

Viac v Elektrické stroje, prístroje, zariadenia a spotrebný tovar; osvetlenieViac v FrancúzskoVšetky zákazky tohto obstarávateľa