Nemecko – Zapisovače s elektrónovým lúčom – Herstellung, Vertrieb und Service von Rasterelektronenmikroskopen und/oder Elektronenstrahllithographie-Systemen

Je je zamýšľa získať systém skenujúceho elektrónového mikroskopu (SEM) s integrovanou elektronovou lítografiou (EBL). Podrobnosti sú uvedené v dokumentácii k verejnej zakázke, najmä v zadaní.

**Zadanie**

- **Dodávateľ má zabezpečiť a dodávať systém skenujúceho elektrónového mikroskopu (SEM) s integrovanou elektronovou lítografiou (EBL).**

- **Systém musí byť schopný vykonávať vysokorozlíšené skenovanie a lítografiu s vysokou presnosťou.**

- **Systém musí mať možnosť integrovania s inými laboratórnymi zariadeniami a softvérom.**

- **Dodávateľ musí zabezpečiť tréning a podporu pre používateľov systému.**

- **Dodávateľ musí zabezpečiť údržbu a servis systému počas celého obdobia platnosti zmluvy.**