Nemecko – Laboratórne, optické a presné prístroje a vybavenie (s výnimkou skiel) – EUV-Targets

S pomocou nákupu zdroja EUV, vrátane prístrojov na charakterizáciu emisie, sa majú skúmať vedecké aspekty. Patria medzi ne hlavne výskumy závislosti emisie od parametrov vloženého laserového výkonu. Okrem toho sa má tento systém skúmať ako alternatíva k už vyvinutým kohérentným zdrojom EUV v HI Jena, čo sa týka ich použitia pre obrazovacie postupy.