Francúzsko – Mikroelektronické stroje a prístroje – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

V rámci svojich výskumných činností, ktoré sú zamerané na vývoj technológií SOI s úplným vyčerpaním 10 nm a nad, chce CEA-LETI nakúpiť úplne automatizovaný zariadenie na nanášanie vrstiev atómovým lámovaním (ALD). Toto zariadenie bude hlavne spracovávať platne s priemerom 300 mm (alebo 200 mm s použitím nosičov 200-300 mm). Je určené na nanášanie kovov a kovových nitridov pre nevolatilné pamäte a pokročilé kontakty. Toto zariadenie musí tiež obsahovať riešenie na čistenie, aby sa zlepšila kvalita povrchu pred nanášaním kovov a kovových nitridov. Zmluva tiež zahŕňa nasledovnú povinnú opciu na cenník* : - Opcia 1 – Výcvik v údržbe na úrovni 1 (Kapitola 9) Zmluva tiež zahŕňa nasledovné voľne vyberateľné opcie na cenník* : - Opcia 2 – Výmenníky tepla (Heat exchangers) a systémy chladenia (chillers) (Sekcia 3.2.6) - Opcia 3 – Elektrický transformátor (Power supply transformer) (Sekcia 4.1.4) - Opcia 4 – Pokročilý výcvik v údržbe (Kapitola 9) - Opcia 5 – Predstaviteľské, korektívne služby a náhradné diely (Sekcia 12.2) - Opcia 6 – Predĺženie záruky o jeden rok - Cena dopravy, vč. poistenia, podľa podmienok DAP CEA Grenoble (Konvencia Incoterms ICC 2020)