Belgicko – Laboratórne, optické a presné prístroje a vybavenie (s výnimkou skiel) – 2 PVD systemen en materiaal

Lot 1 Vysvetlenie

Zadávateľ zamýšľa nakúpiť vysokokvalitný systém nanášania tenkých vrstiev pre pokročilý výskum materiálov v rámci projektu THERMAGINE financovaného ERC. Systém bude použitý na nanášanie a inžinierstvo magnetických kovových a oxidných tenkých vrstiev a viacvrstievých striedaní s kontrolou hrúbky na nanometrovú úroveň. Zariadenie bude hlavne používané na výrobu magnetických (viacvrstievých) tenkých vrstiev a klinov pre nanomagnetický výskum. Systém musí preto poskytovať vysoký stupeň flexibility, reprodukovateľnosti, stability procesu a automatizácie. Pre technické podrobnosti pozri časť III Lot 2 Vysvetlenie

Pre usnadnenie výskumu v čistom priestore UGent je potrebné nový systém fyzikálneho parového nanášania (PVD), ktorý bude môcť spracovať substráty s veľkosťou aspoň 100 mm. Systém PVD bude zdieľaný medzi skupinou výskumu fotoniky (PRG) a skupinou výskumu kvapalných kryštálov a fotoniky (LCP) na nanášanie širokého spektru (predovšetkým kovových alebo dielektrických) tenkých vrstiev. Do úlohy je zahrnutý spustenie a inštalácia nástroja, ako aj load-lock pre rýchlejšie nahrávanie vzoriek a výcvik od dodávateľa zariadenia. 100 mm PVD systém nanášania tenkých vrstiev s oboma zdrojmi e-gun a sputrovania a load-lock. Lot 3 Vysvetlenie

Spotrebné materiály pre prvý rok Lot 2. Lot 3 sa týka jednorazového nákupu spotrebných materiálov, ktoré sú špeciálne potrebné pre systém PVD popísaný v Lot 2 a na použitie v čistom priestore UGent počas prvého roku prevádzky. Zoznam musí obsahovať aspoň zlato pre sputrovacie terče, titán pre sputrovacie terče, zlato pre e-gun parovanie a titán pre e-gun parovanie. Iné spotrebné materiály používané v nižších množstvách, ako sú hliník, nikl, platina, hliníková oxid, chrom a podobné materiály, môžu byť ponúknuté ako nepovinné dodatkové položky, ale nie sú povinné.