Francúzsko – Mikroelektronické stroje a prístroje – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

Pre svoje výskumné aktivity, ktoré smerujú k vývoju technológií FDSOI 10nm a nad, chce CEA-Leti nakúpiť zariadenie určené na vyplnenie kovovými materiálmi vií pri nízkych teplotách pre pamäťové aplikácie pre svoju čistú miestnosť. Zariadenie bude schopné použiť wafery s priemerom 300 mm a je určené na nanášanie tenkého filmu z volfrámu s vysokou konformitou do vií s vysokým pomerom tvaru. Plánované zmluvné objednávky zahŕňajú jednu povinnú a štyri voľné opcie: - Povinná opcia: . Opcia 3 (voľná služba): Výcvik v údržbe na úrovni 1 - Voľné opcie: . Opcia 1 (voľná dodávka): Teplomenné výmenníky / chladiče . Opcia 2 (voľná dodávka): Transformátor elektrického napájania . Opcia 4 (voľná služba): Výcvik v pokročilom údržbe . Opcia 5 (voľná služba): Predĺženie záruky o jeden rok