Francúzsko – Elektronické, elektromechanické a elektrotechnické potreby – Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm

Pre svoju výskumnú činnosť smerovanú na vývoj technológií FD-SOI 10 nm a nad, chce CEA-LETI nakúpiť prístroj na meranie tenkých vrstiev kompatibilný s wafermi 200 mm a 300 mm, použitelný v čistom priestore triedy 100. Zariadenie musí obsahovať funkcie spektroskopickej ellipsometrie a spektroskopickej reflektometrie. Musí zabezpečiť presné a reprodukovateľné merania hrúbok a optických vlastností jednoduchých alebo zložitých vrstiev. Cielené technológie zahŕňajú napríklad SOI, high-k materiály, GaN, SiC a III-V. Plánované zmluvy zahŕňajú: - pevný objem zodpovedajúci základnému zariadeniu, - voliteľný objem č. 1 týkajúci sa dodávky OCD a počítačového prostredia (Modul OCD). Táto zmluva obsahuje nasledujúce voliteľné položky s fakultatívnym cenovým výpočtom: o OPT1: Školenie na údržbu 1. úrovne o OPT2: Školenie na pokročilú údržbu o OPT3: Dodávka elektrického transformátora o OPT4: Dodávka výmenníka tepla / chladičov o OPT5: Predĺženie záruky o jeden rok o OPT6: Cena dopravy, vrátane poistenia, podľa podmienok DAP CEA Grenoble (Dohoda Incoterms ICC 2020).