Francúzsko – Mikroelektronické stroje a prístroje – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

Pre svoj výskumné aktivity chce CEA-LETI získať zariadenie, semiautomatický chemický pult pre gravovanie a čistenie materiálov III-V na platniach z kremíka, fosforidu india (InP) alebo arsenidu gália (GaAs) s priemerom 100, 150, 200 a 300 mm pre mikroelektroniku. Tento pult nahradí už existujúci pult v čistom priestore LETI. Preto musí zariadenie, ktoré sa ponúka, splňať nasledovné rozmery: o Dĺžka = 2500 mm o Hĺbka = 1700 mm o Výška = 2100 mm Zmluva zahŕňa tiež nasledujúce opcie s voliteľným cenovým vyhodnotením* : o Opcia 1: Teplomenné výmenníky a chladiče (§3.2.6) ; o Opcia 2: Napájacie transformátory (§4.1.4) ; o Opcia 3: Výcvik 1. úrovne údržby (§9) ; o Opcia 4: Pokročilý výcvik údržby (§9) ; o Opcia 5: Predĺženie záruky o jeden rok (§11.1) ; o Opcia 6: Zabezpečenie kontaktu suchého, ktorý indikuje otvorenie ventilu odtoku H2SO4 alebo H2SO5 (§4.2.3) ; o Cena dopravy, vrátane poistenia, podľa podmienok DAP CEA Grenoble (Dohoda Incoterms ICC 2020).