Nemecko – Rôzne špeciálne strojové zariadenia – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Predmet nákupu je úprava existujúceho 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-systému výrobcu Applied Materials Inc. (AMAT) na konfiguráciu WxZ Sprint. Pre to sú potrebné najmä prispôsobenia plynového rozvodového systému na realizáciu pulzného procesu usadenia wolframu, ako aj integrácia ďalšieho hardvéru na umožnenie usadzovacích tlakov až do 300 Torr. Výkony zahŕňajú plánovanie, dodanie, integráciu, spustenie do prevádzky a kvalifikáciu potrebných prispôsobení hardvéru a softvéru na existujúcom zariadení.