Švedska – Laboratorijska, optična in precizna oprema (razen očal) – Electron Beam Lithography (EBL) Tool

Lund University, Department of Physics, Lund Nano Lab nabavlja orodje za elektronno žarkovno litografijo. Instrument je namenjen visokorazločljivemu, ponovljivemu vzorčenju, opremljen z veliko pisalno polje za visoko pretokovno vzorčenje, in avtomatskimi samokalibracijskimi rutinami za podporo dolgočasnim izpostavljenostim z minimalnimi napakami zaradi drsenja žarka. Na koncu mora biti njegov fleksibilni sistem nalaganja vzorcev konfiguriran za širok razpon vzorcev, od majhnih kosov, uporabljenih za osnovne znanstvene raziskave, do plošč do 8" v premeru za testiranje pilotne proizvodnje. S temi lastnostmi bo orodje za elektronno žarkovno litografijo postalo osrednji del infrastrukture za izdelavo Lund Nano Lab in podpre širok razpon aplikacij, kot so kvantni napravi, visokomočni elektronski napravi, metasurface in več. Poleg instrumenta mora ponudba vključevati vse povezane stroške, kot so garantija, pakiranje, zavarovanje, namestitev na mestu, komisija, FAT, SAT, carina in transport, izobraževanje, dokumentacija, podpora, razvoj/posodobitve programske opreme, stroški pod ordinanco o odgovornosti proizvajalca za embalažo (2022:1274) itd.