Nemčija – Laboratorijska, optična in precizna oprema (razen očal) – OV_LK_08-26-0886 Cz-Züchtungsanlage-Fluoride-2027

Dostava "prosto na lokacijo uporabe", namestitev in vodenje postopka vzgoje Cz za vzgojo fluoridnih enkristalov. Poleg tega: zagotavljanje dokumentacije, sprejem (delovni in končni sprejem), servis v primeru motenj. Sistem omogoča rast fluoridnih enkristalov iz taline z metodo vlečenja (npr. Czochralski metoda). Sistem se uporablja v raziskovalnem okolju in mora zagotavljati pogost dostop uporabnika, enostavno vzdrževanje ter visoko procesno stabilnost. Sistem mora omogočiti izdelavo kristalov z največjim premerom 100 mm (4 palca) in težo do 5 kg. Največji notranji premer tigele je ocenjen na približno 200 mm. Proces vzgoje kristalov poteka v vodno hlajeni jekleni komori, katere notranja stena mora biti elektropolirana, da se doseže visok vakuum. Kot procesni plini se uporabljata argon in CF4. Sistem mora imeti funkcijo bake-out, kar pomeni, da mora komora pri segrevanju na >50 °C biti evakuirana na visok vakuum (<1×10-6 mbar). Proces poteka pri tisku nekoliko nad atmosferskim tlakom (običajno 1,05-1,1 bar) v statični ali tekoči atmosferi. Izhodišče se nahaja v tigli na osnovi ogljika (grafit ali steklasti ogljik), ki se segreva v središču jeklene komore. Segrevanje poteka z uporabo grafitnega odpornega segrevalnika, ki segreva tiegel in talino. Kristalizacijski proces se začne z impfnim kristalom, ki je pritrjen na vrtečo in translacijsko gibljivo valj iz platine in se potopi v talino. Impfni kristal se nato počasno izvleče iz taline pod vrtenjem, pri čemer nastane volumen enkristal.