Francija – Mikroelektronski stroji in aparati – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Za raziskovalne aktivnosti, namenjene razvoju tehnologij FD-SOI 10 nm in nad 10 nm, želi CEA-LETI pridobiti napravo za mehano-kemično poliranje 300 mm. Naprava mora omogočati poliranje kovinskih plasti, kot so baker ali volfram, ter preprečne materiale, kot sta tantal ali titan. Naprava mora biti sposobna polirati tudi prozorne ploščice. Morala bo opremljena z 4 ploščami in 2 čistilnimi napravama, da bo lahko obdelala 2 postopka v paralelah. Morala bo opremljena z glavami za poliranje in sistemom za končno točko zadnje generacije, ki omogočata avtomatsko nastavljanje profila poliranja. Orodje mora nato vključiti modul za in-situ metrologijo. Trenutni pogodbeni predmet vključuje naslednjo obvezno opcijo: - Opcija št. 1: Podaljšanje garantije za dodatno leto. Trenutni pogodbeni predmet vključuje naslednje fakultativne opcije: - Opcija št. 2: Dovoz senzorja za ostanke (§3.1 tehnične specifikacije), - Opcija št. 3: Dovoz izmenjevalnika toplote/hladilnika (§3.2.6 tehnične specifikacije), - Opcija št. 4: Dovoz električnega transformatorja (§4.1.3 tehnične specifikacije), - Opcija št. 5: Izobraževanje za 1. ravno vzdrževanje (§9 tehnične specifikacije), - Opcija št. 6: Napredno izobraževanje za vzdrževanje (§9 tehnične specifikacije), - Opcija št. 7: Cena za transport, vključno z zavarovanjem, po pogojih DAP CEA Grenoble (Pogodba Incoterms ICC 2020).