Francija – Elektronske, elektromehanske in elektrotehniške potrebščine – Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD

Za svoje raziskovalne aktivnosti, usmerjene v razvoj tehnologij FD-SOI 10 nm in nadgradnje, želi CEA-LETI pridobiti napravo 300 mm za metalno odlaganje s PVD. Naprava bo večkomorna in bo morala vključevati vsaj 5 odlagalnih komor, platformo za prevoz pod vakuumom, posvečeno komoro za oksidacijo, komoro za predčiščenje in modul za degaziranje. Točka za nalaganje bo morala sprejeti vsaj 3 FOUP-e. Predvideno je, da bo pogodba vključevala naslednje možnosti: - Obligatna možnost: OPT1: Podaljšanje garantije za 1 dodatno leto (§11.1 tehničnega pogojnika) - Volitvene možnosti: OPT2: Izmenjevalniki toplote / hlajalniki (§3.2.6 tehničnega pogojnika) OPT3: Transformator za električno oskrbo (§4.1.4 tehničnega pogojnika) OPT4: Učenje o vzdrževanju 1. stopnje (§9 tehničnega pogojnika) OPT5: Učenje o naprednem vzdrževanju (§9 tehničnega pogojnika)