Francija – Mikroelektronski stroji in aparati – Fourniture d’un système d’inspection optique compatible en 100, 150 et 200mm

Za svoje raziskovalne aktivnosti in razvoj partnerstev želi CEA LETI pridobiti sistem optičnega preverjanja, namenjen neobdelanim waferjem, ki je sposoben preverjati premerke 100 mm, 150 mm in 200 mm z napredno občutljivostjo. Izbrani sistem bo moral biti sposoben preverjati substrate različnih materialov in debelin. Pogodba vključuje opcijo z obveznim cenikom:

- Opcija št. 1: eno leto dodatne garancije, kar poveča skupno garancijo na dve leti.

Pogodba vključuje opcije z neobveznim cenikom:

- Opcija št. 2: dostava električnega transformatorja (poglavje 4.1.4. tehničnih pogojev)

- Opcija št. 3: izobraževanje za prvo stopnjo vzdrževanja sistema za preverjanje

- Opcija št. 4: izobraževanje za napredno vzdrževanje sistema za preverjanje.