Francija – Mikroelektronski stroji in aparati – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

V okviru svojih raziskovalnih dejavnosti za razvoj tehnologij SOI z izčrpanjem 10 nm in dalje želi CEA-LETI pridobiti popolnoma avtomatsko napravo za odlaganje atomskih plasti (ALD). Ta naprava bo morala predvsem obdelovati ploščice 300 mm (ali 200 mm z uporabo nosilcev 200-300 mm). Namenjena je odlaganju kovin in kovinskih nitridov za neodvisne spominske naprave in napredne stike. Naprava bo morala vključevati tudi rešitev za čiščenje, da bi izboljšala kvaliteto površine pred odlaganjem kovin in kovinskih nitridov. Pogodba vključuje tudi naslednjo obvezno opcijo za ceno*:

- Opcija 1 – Učenje o vzdrževanju Nivo 1 (Poglavje 9)

Pogodba vključuje tudi naslednje opcije za ceno po izbiri*:

- Opcija 2 – Izmenjevalniki toplote (Heat exchangers) in sistemi hlajenja (chillers) (Razdelek 3.2.6)

- Opcija 3 – Električni transformator (Power supply transformer) (Razdelek 4.1.4)

- Opcija 4 – Napredno učenje o vzdrževanju (Poglavje 9)

- Opcija 5 – Preprečevalne, popravilne storitve vzdrževanja in potrebni rezervni deli (Razdelek 12.2)

- Opcija 6 – Podaljšanje jamstva za eno dodatno leto

Cena prevoza, vključno z zavarovanjem, po pogojih DAP CEA Grenoble (Konvencija Incoterms ICC 2020)