Belgija – Laboratorijska, optična in precizna oprema (razen očal) – 2 PVD systemen en materiaal

Lot 1 Opis

Zakupna oblast si prizadeva nakupiti visokokakovostni sistem za odlaganje tankih plasti za napredno raziskovanje materialov v okviru projekta THERMAGINE, financiranega s strani ERC. Sistem bo uporabljen za odlaganje in inženiring magnetnih kovinskih in oksidnih tankih plasti in večplastnih stekov z nanometrsko kontroliranostjo debeline. Oprema bo predvsem uporabljena za izdelavo magnetnih (večplastnih) tankih plasti in klinov za nanomagnetno raziskovanje. Sistem mora zato zagotavljati visok stopenj fleksibilnosti, ponovljivosti, stabilnosti procesa in avtomatizacije. Za tehnične podrobnosti glej del III.

Lot 2 Opis

Za olajšanje raziskovalnega raziskovanja v čistem prostoru UGent je potrebno novo fizikalno parno odlaganje (PVD) sistema, ki lahko obdela substrate velikosti najmanj 100 mm. PVD sistem bo deljen med skupino za raziskovanje fotonike (PRG) in skupino za tekočine in fotonike (LCP) za odlaganje širokega spektra (predvsem) kovinskih ali dielektričnih tankih plasti. V nalogo je vključena začetna in nameščena orodja, kot tudi vgradnjen sistem za hitrejše nalaganje vzorcev in usposabljanje s strani dobavitelja opreme. Sistem za odlaganje tankih plasti PVD 100 mm, z obema e-gun izparjevalnimi in sputtering viri ter vgradnjenim sistemom.

Lot 3 Opis

Prvoletni porabljeni material za Lot 2. Lot 3 zajema enokratni nakup porabljenega materiala, ki je specifično potreben za PVD sistem, opisano v Lot 2, in za uporabo v čistem prostoru UGent v prvem letu delovanja. Zaloga mora vključevati vsaj zlato za sputtering tarče, titan za sputtering tarče, zlato za e-gun izparjevanje in titan za e-gun izparjevanje. Druge porabljene materiale, ki se uporabljajo v manjši količini, kot so aluminij, nikl, platina, aluminijev oksid, krom in podobni materiali, lahko ponudijo kot opcijsko dodatne predmete, vendar niso obvezni.